中国是世界上第一个能制造实用化深紫外全固态激光器的国家

中国科学院承担的国家重大科研装备研制项目——“深紫外固态激光源前沿装备研制项目”2013年9月6日下午在北京通过验收，中国由此成为目前世界上唯一能够制造实用化深紫外全固态激光器的国家。

验收专家委员会一致认为，该项目属于源头创新，是中国自主研发高精尖仪器的一个成功范例。有业内人士形象称，在深紫外固态激光源前沿装备研发领域的全球“武林高手”中，中国当前可谓“独步天下”。

中科院整合麾下多家研究所科研资源成功研制的深紫外固态激光源系列前沿装备由三大部分组成，包括深紫外非线性光学晶体与器件平台、深紫外全固态激光源平台以及基于这两个平台研制的8台国际首创的新型深紫外激光科研装备。同时，项目核心器件深紫外晶体及器件已实现小批量生产，并初步打造出中国“晶体－光源－装备－科研－产业化”的自主创新链。

深紫外激光非线性光学晶体方面，中科院科研人员在国际上首先生长出大尺寸KBBF（氟硼铍酸钾）晶体，在此基础上发明棱镜耦合专利技术，率先发展出直接倍频产生深紫外激光的先进技术，并全面开展深紫外固态激光源装备的研制和学科应用研究；深紫外激光输出方面，则在世界上首次研制成功集实用化、精密化于一体的深紫外固态激光源。

中科院成功研制的8台国际首创新型深紫外激光科研装备，分别是深紫外激光拉曼光谱仪、深紫外激光光化学反应仪、深紫外激光光发射电子显微镜、深紫外激光光致发光光谱仪、深紫外激光自旋分辨角分辨光电子能谱仪、光子能量可调深紫外激光光电子能谱仪、深紫外激光原位时空分辨隧道电子谱仪、基于飞行时间能量分析器的深紫外激光角分辨光电子能谱仪。目前，这8台科学仪器已在石墨烯、高温超导、拓扑绝缘体、宽禁带半导体和催化剂等重大研究领域获得重要结果，并在物理、化学、材料、信息等领域开创一些新的多学科交叉前沿。

据悉，中科院现已启动深紫外仪器设备产业化开发工作，计划逐步推向市场。同时，“深紫外固态激光源前沿装备研制项目”在顺利完成一期任务基础上，二期工作也启动实施，将研制大动量极低温深紫外激光光电子能谱仪、深紫外激光调制反射光谱仪等6台国际领先水平的仪器设备，推动深紫外技术深度开发。