中国首套国际最高等级的无尘室集成系统在南京天加空调公司建成

2014年11月，我国第一个国际最高等级“ISO1级”的无尘室集成系统在南京天加空调设备有限公司落成，并通过了专家组的评定。

来自中国科学院、中国工程院、行业协会、高校等多名院士内在的近30名权威专家一致评定，该系统为国内首创，达到国际先进水平。

1963年美国制定出国际上第一套无尘室标准，此后不断修改标准。1999年ISO统一了各国的洁净度标准，并颁发标准。ISO1级是该标准的最高要求，实现难度非常大。

2012年，南京天加组建技术团队，投入一千多万元，经过近两年的技术攻关，建立了天加“超净环境集成系统”。经权威机构检测，该系统核心区空气洁净度管控达到国际最高标准ISO1级。

在天加公司，记者看到，这个无尘室一共有200多平方米，分成8个小房间，每个房间都有一些仪器设备。一名工程师告诉记者，无尘环境正是靠这些仪器设备达到无尘效果，每个房间都经过5级物理过滤，滤掉颗粒物污染。再经过两道化学过滤，过滤掉分子污染。

无尘室到底干净到什么程度？“这里面每立方米的空间只有0.1微米的颗粒0.5颗。”天加无尘室一名工程师介绍，打个比方，把一立方米的空间比作太平洋，把一个微颗粒比作一条3.7升大小的鱼。现在把这条鱼放到太平洋这样巨大的空间，经过超高效过滤，太平洋里，3.7升体积的以上的鱼和动物全部被过滤掉了。

在评定会现场，中国电子学会洁净技术分会、全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会主任委员王尧表示，天加这套无尘室系统将科研、教学、工程技术验证、环境危害直观评估集成于一个技术平台，实现了国内首创，打破了一直以来该领域的国外技术屏障。无尘室的核心区洁净度达到国际标准最高级别ISO 1级，填补国家相关领域技术空白。

王尧说，无尘室在电子信息产品制造过程中的作用非常大，尤其是对于超大规模集成电路、高世代平板显示制造而言，无尘室的设计及建造的水平决定了产品质量。希望天加尽快推广使用。